SDEシリーズ
SDLシリーズ
NeoDryシリーズ
SDEシリーズ 耐プロセス・省エネ・大排気量対応
| 型式 | 最大排気速度(L/min) | 到達圧力（Pa） |
|---|---|---|
| SDE90X | 1,300 | 1.3 |
| SDE120TX | 1,500 | 1.3 |
| SDE200 | 3,300 | 1.3 |
| SDE303X | 5,000 | 0.5 |
| SDE603X | 10,000 | 0.5 |
| SDE1203TX | 20,000 | 0.5 |
| SDE20N12TX | 30,000 | 0.5 |
| SDE30N20 | 50,000 | 0.5 |
| SDE60N20 | 100,000 | 0.5 |
SDLシリーズ
| 型式 | 最大排気速度(L/min) | 到達圧力（Pa） |
|---|---|---|
| SDL12E50/60 | 25,000 | 0.8 |
| SDL20E60 | 40,000 | 0.8 |
| SDL36E60 | 60,000 | 0.8 |
MU-Xシリーズ 消費電力0.35kW、A3以下の230×450mm
| 型式 | 最大排気速度(L/min) | 到達圧力（Pa） |
|---|---|---|
| MU100X | 1,660 | 1.5 |
| MU180X | 3,000 | 1.5 |
| MU300X | 5,000 | 0.5 |
| MU600X | 10,000 | 0.5 |
| MU1218X | 20,000 | 0.5 |
| MU20N18X | 30,000 | 0.5 |
MU-P/Hシリーズ プロセス耐性、消費電力0.7kW
| 型式 | 最大排気速度(L/min) | 到達圧力（Pa） |
|---|---|---|
| MU100P/H | 1,660 | 3.0 |
| MU180P/H | 3,000 | 5.0 |
| MU300P/H | 5,000 | 0.5 |
| MU600P/H | 10,000 | 0.5 |
| MU1218P/H | 20,000 | 0.5 |
| MU20N18P/H | 30,000 | 0.5 |
| MU30N18P/H | 50,000 | 0.5 |
NeoDryシリーズ 小型空冷ドライ真空ポンプ
| 型式 | 最大排気速度(L/min) | 到達圧力（Pa） |
|---|---|---|
| NeoDry7E | 110 | 5.0 |
| NeoDry15E | 250 | 1.0 |
| NeoDry30E | 500 | 1.0 |
| NeoDry36E | 600 | 1.0 |
| NeoDry60E | 1,000 | 1.0 |
| NeoDry300E | 5,000 | 0.3 |
LEH/LEMシリーズ 水蒸気や水滴を含んだ気体の排出に
| 型式 | 排気速度(m3/hr) | 到達圧力（Pa） | |
|---|---|---|---|
| 50Hz | 60Hz | ||
| LEM3 | 3.4 | 4.2 | 7.3×103 |
| LEM6 | 6.6 | 7.8 | 7.3×103 |
| LEM20MA | 17 | 20 | 7.3×103 |
| LEM40MA | 34 | 40 | 7.3×103 |
| LEH30MA,MS | 22 | 27 | 2.3×103 |
| LEH50MA,MS | 42 | 50 | 2.3×103 |
| LEH100MA,MS | 75 | 90 | 2.3×103 |
| LEH150MA,MS | 113 | 135 | 2.3×103 |
| LEH200MA,MS | 150 | 180 | 2.3×103 |
| LEH300MA,MS | 250 | 300 | 2.3×103 |
仕様及び型式名に関しては、予告なく変更される可能性があります。